型 號Hitachi SU8010
產(chǎn)品時間2024-06-24
所屬分類掃描電子顯微鏡(電鏡)
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HITACHI SU-8010高分辨場發(fā)射掃描電鏡包括SU-8010主機和E-1045噴鉑噴碳裝置,并配備有EDAX X射線能譜儀。加速電壓為15kV時,分辨率為1.0nm,加速電壓為1kV時,分辨率為1.3nm。
日立2005年在中國推出了S-4800型高分辨場發(fā)射掃描電鏡,由于出色的應用性能、良好的穩(wěn)定性和簡易的維護,收到了各界用戶的*。
日立2011年新推出了它的后續(xù)機型----SU8010,它繼承了S-4800的優(yōu)點,性能有進一步提高,1kv使用減速功能后,分辨率提升到1.3nm,相對于S-4800可以在更低的加速電壓下呈高分辨像,明顯提升了以往很難觀測的低原子序數(shù)樣品的觀測效果。
產(chǎn)品特點:
1. 低加速電壓成像能力,1kv分辨率可達1.3nm
2. 日立專li的ExB設計,不需噴鍍,可以直接觀測不導電樣品
3. Upper探頭可選擇接受二次電子像或背散射電子像
4. 可以根據(jù)樣品類型和觀測要求選擇打開或關閉減速功能
5. 標配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器,物鏡光闌具有自清潔功能
6. 儀器的烘烤維護及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶自行完成
主要用途:
掃描電鏡(SEM)可觀察納米材料、材料斷口的分析、觀察原始表面、觀察區(qū)域細節(jié)、顯微結構分析等。
X射線能譜儀可進行成分的常規(guī)微區(qū)分析:元素定量、定性成分分析,實時微區(qū)成分分析,快速的多元素面掃描和線掃描分布測量。分析范圍Be4~U92。
已廣泛應用于材料科學、金屬材料、陶瓷材料半導體材料、化學材料、醫(yī)藥科學以及生物等領域。
二次電子分辨率 | 1.0nm(加速電壓15kV、WD=4mm) | |
1.3nm(加速電壓1kV、WD=1.5mm) | ||
加速電壓 | 0.1~30kV | |
觀測倍率 | 20~8000,000(底片輸出) | |
60~2,000,000(顯示器輸出) | ||
樣品臺 | ||
馬達驅動 | 3軸馬達 | |
5軸(選配) | ||
行程 | X | 0~50mm |
Y | 0~50mm | |
Z | 360° | |
T | -5~70° | |
R | 1.5~30mm | |
zui大裝載尺寸 | 100mm(zui大) | |
150mm(選配) | ||
探頭 | ||
標配 | Lower | 高立體感圖像 |
Upper | 高分辨SE、BSE圖像 | |
選配 | STEM | 明場像、暗場像 |
YAG 探頭 | BSE圖像 | |
半導體探頭 | BSE圖像 | |
EBIC | 電子束感生電流圖像 | |
EDS | 元素分析 | |
反污染措施 | ||
冷指 | 標配 | |
物鏡光闌 | 內(nèi)置自清潔功能 | |
電子槍 | 內(nèi)置加熱器 | |
真空系統(tǒng) | ||
離子泵 | 3臺 | |
分子泵 | 1臺 | |
機械泵 | 1臺 |